半導(dǎo)體制造業(yè)由于在制程中要使用到極高毒性,腐蝕性及易燃性氣體、液體和大量可燃性塑材，再加上無塵室的密閉作業(yè)環(huán)境及回風(fēng)系統(tǒng),被美國(guó)(FMS)組織列 為“極高風(fēng)險(xiǎn)”的行業(yè)。作為半導(dǎo)體晶圓代工廠氣體的使 用者，每一位工作人員都應(yīng)該在使用前對(duì)各種危險(xiǎn)氣體 的安全數(shù)據(jù)加以了解，并且應(yīng)該知道如何應(yīng)對(duì)這些氣體外泄時(shí)的緊急處理程序。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)房中存在大量特細(xì)氣體管道，在安裝完成后，必須經(jīng)過嚴(yán)格的檢測(cè)測(cè)試才能投入正 常使用。特細(xì)氣體管路的五項(xiàng)必備分析測(cè)試分別 為: 壓力/氨側(cè)漏/含塵量/水分氧分分析檢測(cè)。只有 當(dāng)以上五項(xiàng)測(cè)試檢測(cè)全部符合標(biāo)準(zhǔn)廠房才可投入使 用，否則會(huì)有極大的潛在安全以及經(jīng)濟(jì)風(fēng)險(xiǎn)。

根據(jù)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB50646-2011和《有毒氣體檢測(cè)報(bào)警儀技術(shù)條件及檢驗(yàn)方法》HG23006中的有關(guān)規(guī)定，同時(shí)結(jié)合半導(dǎo)體工廠使用氣體檢測(cè)裝置產(chǎn)品的快速響應(yīng)要求作出檢測(cè)報(bào)警響應(yīng)時(shí)間規(guī)定。要求處于抽風(fēng)口或環(huán)境點(diǎn)安裝毒性氣體偵測(cè)器及系統(tǒng)，若發(fā)生任何有毒氣體的泄漏將會(huì)被氣體偵測(cè)系統(tǒng)所偵測(cè)到，這個(gè)控制系統(tǒng)將根據(jù)氣體外泄對(duì)人體 危害的大小來確定整個(gè)氣體輸送系統(tǒng)的相關(guān)互鎖動(dòng)作，嚴(yán)重時(shí)緊急關(guān)閉上游所有氣源，同時(shí)會(huì)驅(qū)動(dòng)中央控制室和現(xiàn)場(chǎng)的相關(guān)報(bào)警系統(tǒng)，甚至?xí)?qū)動(dòng)全廠的自動(dòng)語音廣播系統(tǒng)通知立即疏散，要求相關(guān)人員迅速撤離報(bào)警區(qū)域。因此只要工程技術(shù)人員嚴(yán)格按照所制定的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)程序操作，所有這些安全裝置都將確保人員不會(huì)有安全上的顧慮。

半導(dǎo)體行業(yè)氣體檢測(cè)主要范圍
一氧化碳CO、氨氣NH3、氧氣O2、氯化氫HCl、氯氣Cl2、氟化氫HF、磷化氫PH3和氫氣H2等有毒有害,易燃 易爆氣體傳感器，是針對(duì)半導(dǎo)體制造業(yè)毒氣監(jiān)測(cè)應(yīng)用的專業(yè)級(jí)傳感器產(chǎn)品. 傳感器壽命長(zhǎng)，可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定持續(xù)監(jiān) 測(cè)，可大大降低半導(dǎo)體制造業(yè)毒氣監(jiān)測(cè)成本，實(shí)現(xiàn)大范圍安裝應(yīng)用，為半導(dǎo)體制造業(yè)毒氣監(jiān)測(cè)提供了切實(shí)可行的安全生產(chǎn)監(jiān)測(cè)解決方案。

半導(dǎo)體電子廠房常見危險(xiǎn)性氣體種類

半導(dǎo)體電子廠房氣體檢測(cè)及監(jiān)視系統(tǒng)
在半導(dǎo)體電子廠房加工過程中，高危險(xiǎn)物質(zhì)，尤其是可燃?xì)怏w、有毒氣體等氣體的使用日益增加。不可避免的氣體泄漏事件偶有發(fā)生，進(jìn)而對(duì)工廠及其雇員和附近居民及環(huán)境產(chǎn)生潛在危害。全球范圍內(nèi)因氣體泄漏所導(dǎo) 致的燃燒、爆炸和窒息、人員傷亡等事故，不斷地提示著人們這個(gè)問題的存在。氣體檢測(cè)及監(jiān)視系統(tǒng)隨之誕生， 旨在氣體泄漏早期及時(shí)發(fā)現(xiàn)、預(yù)警，幫助人們獲得更多時(shí)間去預(yù)防和采取補(bǔ)救行動(dòng)。
目前，應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的特種氣體有110余種，常用的有20-30種，在原材料需求占比中高達(dá)14%。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中常見氣體檢測(cè)應(yīng)用：
維持潔凈度： 付氮封、充吹（Purge）
矽晶片制造：O2, HCL, H2, Ar
氧化：O2, DCE
摻雜：PH3,AsH3, BCl3
微影：KrF, ArF, F2
蝕刻：Cl2, SF6, NF3, CF4, HBr, BCl3
薄膜：Ar (物理氣相沉積PVD)， SiH4, N2O, NH3, WF6 (化學(xué)氣相沉積CVD)

舒茨股份提供半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)氣體濃度定量與控制設(shè)備，為半導(dǎo)體行業(yè)提供一站式的解決方案，以及一氧化碳CO、氨氣NH3、氧氣O2、氯化氫HCl、氯氣Cl2、氟化氫HF、磷化氫PH3和氫氣H2等有毒有害,易燃易爆氣體傳感器、報(bào)警儀、變送器等控制設(shè)備，為半導(dǎo)體前端生產(chǎn)工藝保駕護(hù)航。